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    紫金玻璃真空太陽集熱管
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    發布日期:2019-08-02
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    詳細介紹

    絕大多數廠家生產的全玻璃真空太陽集熱管涂層都以漸變Al-N/Al選擇性吸收涂層為主,由于該涂層在減反層的沉積率很低德州扑克正规网站,因此其熱性能不夠理想。大多數選擇性吸收涂層的太陽吸收比都在國家標準附近波動(國家標準中太陽吸收比為0.86);國內有的企業推出的干涉型Cu/Al-SS-N/AlN選擇性吸收涂層德州扑克正规网站,雖然其吸收比較高,但在涂層制備過程中需要三種靶材切換工作,設備也相對復雜,可靠性和穩定性差,維護量大,同時仍然存在沉積率低的問題德州扑克正规网站,因此其制備成本很高,價格比普通集熱管高出很多,很不利于市場推廣。這個問題在國內普遍存在,極大地影響批量生產的全玻璃真空太陽集熱管的光-熱轉換效率。

    2003年,清華陽光公司成功研制高吸收德州扑克正规网站、低發射選擇性吸收涂層德州扑克正规网站,此新型漸變-干涉選擇性吸收涂層和納米涂層技術德州扑克正规网站,太陽吸收比高達0.96,熱發射比僅為0.05德州扑克正规网站,均已接近理論極限,創造真空集熱管技術奇跡。

    要制備這樣的涂層,集熱性能基本上達到了理論極限,難度很大德州扑克正规网站。

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    其次,提高減反層沉積率,增加減反層厚度。由于現有鍍膜機工作原理及反應磁控濺射鍍膜工藝特性德州扑克正规网站,作為漸變Al-N/Al選擇性吸收涂層減反層的金屬氧化物德州扑克正规网站、氮化物的沉積速率很低,一般在1~1.5nm/min,而高吸收選擇性吸收涂層的減反層厚度一般要求在60nm左右,因此不適合現有的選擇性吸收涂層全玻璃真空集熱管的生產要求,生產效率極低。

    通過研制、使用新型反應氣體流量控制單元,實現選擇性吸收涂層,減反層沉積過程中反應氣體流量的脈沖控制,將工藝控制在反應磁控濺射過程中的過渡層階段,從而在不降低減反層特性的條件下,提高作為選擇性吸收涂層的金屬氮化物的沉積速率,降低生產成本。


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